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GaN nanowire 생성시 기판의 중요성..

나노와이어를 제조 할 시에 기판에 따라 생성이 되기도 하고 안되기도 하죠? 알루미늄 기판같은 경우에는 어느정도의 관계가 있는지 자료 있으신 분 계신가요? 그리고 알파-Al2O3 와 그냥 Al2O3 와는 어떤 차이가 있는건가요?
  • GaN
  • Al
  • Al2O3
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답변 1
  • 답변

    서덕일님의 답변

    GaN 나노와이어는 일반적으로 CVD 방법이든 수용액에서의 합성이든 사파이어 기판에서 합니다. 간혹 실리콘 기판에서도 합성한다고 하지만 사파이어가 주가 됩니다. 나노와이어 뿐 아니라 GaN 에피택셜 성장에서도 마찬가지로 기판에 따른 stress 등의 이유로 성장(합성)이 쉬운 방향이 있습니다. GaN nanowire synthesis 로 검색하면 자료야 엄청나게 많을 것입니다. > 나노와이어를 제조 할 시에 기판에 따라 생성이 되기도 하고 안되기도 하죠? > > 알루미늄 기판같은 경우에는 어느정도의 관계가 있는지 자료 있으신 분 계신가요? > > 그리고 알파-Al2O3 와 그냥 Al2O3 와는 어떤 차이가 있는건가요?
    GaN 나노와이어는 일반적으로 CVD 방법이든 수용액에서의 합성이든 사파이어 기판에서 합니다. 간혹 실리콘 기판에서도 합성한다고 하지만 사파이어가 주가 됩니다. 나노와이어 뿐 아니라 GaN 에피택셜 성장에서도 마찬가지로 기판에 따른 stress 등의 이유로 성장(합성)이 쉬운 방향이 있습니다. GaN nanowire synthesis 로 검색하면 자료야 엄청나게 많을 것입니다. > 나노와이어를 제조 할 시에 기판에 따라 생성이 되기도 하고 안되기도 하죠? > > 알루미늄 기판같은 경우에는 어느정도의 관계가 있는지 자료 있으신 분 계신가요? > > 그리고 알파-Al2O3 와 그냥 Al2O3 와는 어떤 차이가 있는건가요?
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