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지식나눔

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소규모 Burn Scrubber 제작해보신분 계신가요 ?

2008-06-20 org.kosen.entty.User@1905014f 권재환(dukekjh)
  • 1
서울대 대학원 연구실 입니다. 저희가 PECVD 와 LPCVD 를 이용해서 SiH4 를 소스가스로 a-Si 증착을 하고 있는데요 , Burn scrubber 용량이 부족한듯 하여 작은 폭발이 일어나고 있습니다. 아무래도 번 스크러버를 사야할듯 한데.. 처리용량이 매우큰 번스크러버 뿐이라서요 저희가 사용하는 SiH4 가스는 99% 순도로 대략 최대 200 sccm 정도 흘립니다. 좀 알려주시면 감사드리겠습니다 .
  • Burn
  • scrubber
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답변 1
  • 답변

    송준희님의 답변

    2008-07-15
    • 0
    >서울대 대학원 연구실 입니다. 저희가 PECVD 와 LPCVD 를 이용해서 SiH4 를 소스가스로 a-Si 증착을 하고 있는데요 , Burn scrubber 용량이 부족한듯 하여 작은 폭발이 일어나고 있습니다. > >아무래도 번 스크러버를 사야할듯 한데.. 처리용량이 매우큰 번스크러버 뿐이라서요 > > >저희가 사용하는 SiH4 가스는 99% 순도로 대략 최대 200 sccm 정도 흘립니다. > >좀 알려주시면 감사드리겠습니다 . 아래 회사에 문의하세요... 케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr) 한국엠에이티(대표 김동수 http://www.mat.co.kr) 유니셈(대표 김경균 http://www.union-ind.com) 한국파이오닉스(대표 이창세 http://www.kpc.co.kr) 태양테크(대표 조현기 http://www.taeyang.com) 다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.com)
    답변수정
    >서울대 대학원 연구실 입니다. 저희가 PECVD 와 LPCVD 를 이용해서 SiH4 를 소스가스로 a-Si 증착을 하고 있는데요 , Burn scrubber 용량이 부족한듯 하여 작은 폭발이 일어나고 있습니다. > >아무래도 번 스크러버를 사야할듯 한데.. 처리용량이 매우큰 번스크러버 뿐이라서요 > > >저희가 사용하는 SiH4 가스는 99% 순도로 대략 최대 200 sccm 정도 흘립니다. > >좀 알려주시면 감사드리겠습니다 . 아래 회사에 문의하세요... 케이씨텍(대표 고석태 http://www.kctech.co.kr) 한국엠에이티(대표 김동수 http://www.mat.co.kr) 유니셈(대표 김경균 http://www.union-ind.com) 한국파이오닉스(대표 이창세 http://www.kpc.co.kr) 태양테크(대표 조현기 http://www.taeyang.com) 다산씨앤드아이(대표 오희범 http://www.dasancni.com)
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