2008-06-23
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이규항(lkhang79)
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ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다.
이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다.
완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요.
- ITO
- etch
- patterning
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답변 8
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김도형님의 답변
2008-06-23- 0
일단 vertical SEM 찍으셔서 남은 ITO 두께가 어느 정도인지 확인해 보세요. SEM을 쉽게 찍을 수 없으면 etch rate 고려하여 추정으로 etch time 조금 더 길게 잡고 over etch 하시어 leakage current 다시 확인해 보시고요. >ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. -
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이규항님의 답변
2008-06-24- 0
>ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. 제가 over etch까지도 해봤는데도 전체에서 전류가 흐르네요....ㅠ.ㅠ 도대체 뭐가 문제인지 모르겠습니다.... 삼성코닝 ITO glass기판쓰는데..... 소자를 어떻게 만들어야할지....걱정이네요 -
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김도형님의 답변
2008-06-26- 0
원래 ITO glass 기판이 도전체 아닌가요??? 말씀하신 구조가 정확히 어떻게 되는지 잘 이해가 가지 않습니다. 혹시 vertical structure를 그려주실 수 있으신가요? 역시 이럴 때는 vertical SEM을 보는 것이 제일 낫습니다. >ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. -
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이규항님의 답변
2008-06-27- 0
>ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. 구조 첨부합니다... -
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김도형님의 답변
2008-06-27- 0
위에 첨부하신 그림에서 빨간색 물질은 무엇이고 파란색 기판은 무엇을 되어 있나요??? >ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. -
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이규항님의 답변
2008-06-28- 0
빨강색이 ITO etch된부분이고 파랑색이 glass입니다... ITO 끼리 찍으면 전류가 100nA정도 흐르나 겉에 큰면적의 glass를 찍으면 전류가 안흐릅니다.. glass 표면에 ito가 diffusion할수도 있나요? ㅠ.ㅠ 아 미치겠습니다.... >ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. -
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서덕일님의 답변
2008-07-01- 0
에천트는 무엇을 사용하셨나요? >ITO etch관련해서 물어볼께 있어서 이렇게 글을 남깁니다. >이번에 10um patterning을 했는데 ITO사이에서 1nA정도가 흐릅니다. >완전히 etch가 안되는거 같은데 무슨 문제 인지 아시는 분들 좀 도와주세요. -
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이규항님의 답변
2008-07-09- 0
ITO etchant는 화인캠것도 써보고 LCE-12k cyantek것도 써보고 제가 직접 염산,질산, DI로 섞어서 해보았지만 안되네요.. 혹시 source,drain을 ITO로 패턴해서 쓰시는 분들 계시면 어떻게 하시는지 알려주세요...ㅠ.ㅠ