2008-06-26
org.kosen.entty.User@46e6ab8c
김기중(heykijoong)
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안녕하세요?
다름이 아니라
제가 공부하고 있는 분야에 Oxide 층을 hfo2층으로 쓰려고 하는데
Hydrophobic의 성질이 중요하기 때문에
hfo2를 소수성의 성질를 가질 수 있는 방법을 찾고자 이렇게 질문을 드립니다.
ZnO같은 경우에는 열처리 함으로서 그 성절이 소수성을 가질 수 있다고 하는데
hfo2 어떤가요??
- hfo2
- otft
- dielectric
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
안길홍님의 답변
2008-06-30- 0
HfO2뿐만이 아니라 자체가 가지고 있는 물성을 소수성등으로 변경한다는 것은 매우 어렵습니다. 따라서 표면에 초박막으로 소수성 물질로 처리하는 것이 더 현실적입니다. 초박막으로 처리한후 약간 온도를 올려주면 더욱 좋습니다. Degussa같은 데서 불소계 소수성 용액이 나옵니다.(F8815) 이의 sample을 얻어서 test함이 좋을 것 같습니다.(학교라고 이야기 하고 sample을 부탁하면 됩니다) -
답변
이원희님의 답변
2008-07-08- 0
>안녕하세요? > >다름이 아니라 > >제가 공부하고 있는 분야에 Oxide 층을 hfo2층으로 쓰려고 하는데 > >Hydrophobic의 성질이 중요하기 때문에 > >hfo2를 소수성의 성질를 가질 수 있는 방법을 찾고자 이렇게 질문을 드립니다. > >ZnO같은 경우에는 열처리 함으로서 그 성절이 소수성을 가질 수 있다고 하는데 > >hfo2 어떤가요?? 저도 잘 아는것은 아니지만 SAM (self-assembled monolayer) 중에 OTS (octadecyltrichlorosilane) 라고 있는데 이것을 micro contact printing 으로 옥사이드 박막에 패터닝을 하면 OTS의 한 쪽 끝은 필릭하고 한 쪽 끝은 포빅해서 전체적으로 포빅하게 만들 수 있을거 같습니다. 실제로 많이 쓰이고 있습니다. 자기조립 방법이요~ -
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이상후님의 답변
2010-02-04- 0
>안녕하세요?>>다름이 아니라>>제가 공부하고 있는 분야에 Oxide 층을 hfo2층으로 쓰려고 하는데>>Hydrophobic의 성질이 중요하기 때문에>>hfo2를 소수성의 성질를 가질 수 있는 방법을 찾고자 이렇게 질문을 드립니다.>>ZnO같은 경우에는 열처리 함으로서 그 성절이 소수성을 가질 수 있다고 하는데>>hfo2 어떤가요?? high-k 물질인 HfO2 필름을 SAM으로 처리하게 되면 소수성을 띄게되어서 표면에 잘 증착되지 않는다고 알려져 있습니다. 참고하세요.