지식나눔

박막 증착에 관해.

스파터링 장비로 SnO2를 증착하고.있습니다.(건은 아래, 기판은 위에 있음) 타겟은 SnO2, 기판 :Si ,상온 증착 .가스는 아르곤 또는 아르곤과 산소 혼합. 문제는 기판에 증착후 단일색으로 증착되는 것이 아니라. 여러가지 색깔로 증착이 되었습니 다.(색깔이 다른 이유는 알고 있습니다.) 어떤 이유로 이런 현상이 있어나는지 알고 싶습니다.
  • thin film
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답변 1
  • 답변

    이남일님의 답변

    혹시 원을 그리며 색상이 다르지 않나요? 그렇다면 중간과 가장자리의 증착 두께 차이로 인한 색 차이로 생각됩니다. 위치별로 두께 측정을 해보시는것도 방법이 될듯 싶습니다. >스파터링 장비로 SnO2를 증착하고.있습니다.(건은 아래, 기판은 위에 있음) > >타겟은 SnO2, 기판 :Si ,상온 증착 .가스는 아르곤 또는 아르곤과 산소 혼합. > >문제는 기판에 증착후 단일색으로 증착되는 것이 아니라. 여러가지 색깔로 증착이 되었습니 > >다. > >어떤 이유로 이런 현상이 있어나는지 알고 싶습니다.
    혹시 원을 그리며 색상이 다르지 않나요? 그렇다면 중간과 가장자리의 증착 두께 차이로 인한 색 차이로 생각됩니다. 위치별로 두께 측정을 해보시는것도 방법이 될듯 싶습니다. >스파터링 장비로 SnO2를 증착하고.있습니다.(건은 아래, 기판은 위에 있음) > >타겟은 SnO2, 기판 :Si ,상온 증착 .가스는 아르곤 또는 아르곤과 산소 혼합. > >문제는 기판에 증착후 단일색으로 증착되는 것이 아니라. 여러가지 색깔로 증착이 되었습니 > >다. > >어떤 이유로 이런 현상이 있어나는지 알고 싶습니다.
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