2008-07-21
org.kosen.entty.User@5c5b6194
양재훈(yjhy)
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photomask 제작방법에 대해서 문의드립니다
제가 알고 있기로는 photomask 제작시 습식식각과 plasma를 사용한 건식식각 방법이
있다고 알고 있습니다..
그 중에서 plasma를 사용하는 건식식각이 어떻게 사용되는지와
나아가서 전체적인 photomask의 제작방법에 대해 알고 싶습니다..
자료를 첨부해주시면 더욱 감사하겠습니다..
- photomask
- etch
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
권해용님의 답변
2008-07-22- 0
RF 스퍼터 방식으로 플라즈마를 생성한 후 이온을 타겟 대신 기판을 때려 에칭하는 방식입니다. 이때 선택적으로 애칭하기 위해 PR을 모양에 맞게 증착해두는 것은 동일한것 같습니다. 자세한 설명은 첨부한 자료 참고 하세요.