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지식나눔

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RIE와 ICP의 차이점에 대해 궁금합니다..

2008-07-23 org.kosen.entty.User@504678c1 양재훈(yjhy)
  • 1
Plasma를 이용한 Dry Etching에 여러 종류가 있는 것으로 알고 있습니다.. RIE, ICP, CCP 등이 있는것으로 알고 있는데요 이들 방식의 차이점에 대해 알고 싶습니다.. 자료를 첨부해주시면 더욱 감사하겠습니다..
  • RIE
  • ICP
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답변 1
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2010-02-05
    • 0

    첨부파일

    >Plasma를 이용한 Dry Etching에 여러 종류가 있는 것으로 알고 있습니다..>>RIE, ICP, CCP 등이 있는것으로 알고 있는데요>>이들 방식의 차이점에 대해 알고 싶습니다..>>자료를 첨부해주시면 더욱 감사하겠습니다.. 첨부자료
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    >Plasma를 이용한 Dry Etching에 여러 종류가 있는 것으로 알고 있습니다..>>RIE, ICP, CCP 등이 있는것으로 알고 있는데요>>이들 방식의 차이점에 대해 알고 싶습니다..>>자료를 첨부해주시면 더욱 감사하겠습니다.. 첨부자료
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