2008-07-28
org.kosen.entty.User@2b264d4c
김상기(doradoon)
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안녕하세요.. Sputtering 관련 질문을 올리려고 합니다. 고수님들의 조언 부탁드립니다.. (--)(__) 꾸벅...
저희가 RF 형태 .. 정확히 말하자면 RF 보다 주파수 대역이 낮은 Power를 가지고 ITO Sputtering 공정을 진행하고 있는데여..
증착물은 PET 필름으로 플렉시블 디스플레이의 기판으로 들어가는 소재입니다.
헌데 .. 이번에 저희가 ITO Target을 교체를 하고 계속 공정을 진행하고 있는데 .. Target을 갈고 나서 공정 중간에
Arc 발생률이 증가하여 자꾸 Plasma가 소멸되는 문제가 발생하고 있습니다..
혹시 RF Sputtering 시 Arc 발생의 원인 및 해결 방안이나 이런 문제에 대한 정보를 알고 계신 고수님이 계신지요..
제가 이일일 시작한지 얼마 되지 않아서.. 알고 있는게 적네요.. ㅜㅜ
도움이 될만한 조언 기다리고 있겠습니다.. 부탁드리겠습니다.
- RF Plasma
- Arc
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변
이준희님의 답변
2008-07-28- 0
타켓뒤에 붙어있는 마그네틱 자석이 자성을 잃으면 플라즈마가 약해지거나 뜨지 않는 경우가 있습니다. 번쩍번쩍경우도 있습니다. 마그네틱자석이 이상이 있으면 타켓을 분리하면 마그네틱 자석이 저절로 떨어집니다.() (건에 냉각수가 잠시라도 돌지않으면 마그네틱 자석은 자성을 잃어 버림..냉각수 체크, 필수) 마그네틱 자석의 가격은 한개당 2000원 ~3000원 했던기억이 있습니다. 냉각수, 테스트기로 건을 체크등을 했으면 합니다. 여기에 적은 놓은 중에 문제가 없으면 업체에 전화를 해서 해결해야 할 듯 합니다. -
답변
안길홍님의 답변
2008-08-07- 0
전류가 RF장치와 sputtering하는 물질과 맞지 않으면 종종 Arc가 길게 발생합니다. RF장치의 spec.을 모르기 때문에 정격전류 등을 모르겠으나, 먼저 입력 전원측에 Clamp-on meter로써 전류를 측정하여 입력 전류가 규격에 맞게 입력되고 있는지 확인하여 보시기 바랍니다. 다음으로 입력전류를 제어하여 주어야 되는데, 입력전류를 제어하기 어려우면,220V Slide-AC로써 전류를 제어하여 적합한 시점을 찾아 stop하여 보시기 바랍니다. 참고로 RF장치 같은 것을 사용하는 것 같으면 220V 10KVA정도의 slide-AC를 준비 하여 두는 것이 좋습니다.