2008-07-29
org.kosen.entty.User@7868111f
조승곤(akcho99)
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안녕하세요.. TiN 박막에 대한 EDS 분석에서 Ti L각과 N K각의 overlap으로 인한 정량분석과 정성분석이 어렵습니다.
막의 두께는 대략 1um정도입니다.
N의 경우 detector error가 50%이상이라고 알고 있습니다.
정성의 경우 peak 분리(?)를 통해 알수 있다고 하더라도 정량은 방법이 없는걸까요?
많은 조언 부탁드립니다.
무더위에 건강 조심하세요.
- EDS
- TiN
- overlap
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