2008-07-31
org.kosen.entty.User@2c6e3588
이근우(kkeun8722)
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안녕하세요~~
상압 플라즈마를 공부하고 있는 학생입니다.
다름이 아니라, 상압 플라즈마 장치를 만들어 유기물 세정을 하고 있습니다.
현재 전원으로는 RF, 가스를 아르곤과 산소를 사용, 유전체(상부 전극: 세라믹, 하부 전극 : 알루미늄 아노다이징)을 사용하고 있습니다.
궁금한 점은 아르곤만을 인가하여, 방전 할 경우, 인가하는 전력보다, 아르곤의 양이 많을 경우 플라즈마 방전에 미치는 영향, 즉 아르곤이 너무 많을 경우 어떻게 되는 지 궁금(즉, 플라즈마 방전을 방해 한다던지 등)하며, 아르곤 플라즈마 방전 후 산소가스를 주입 할 경우, 방전 Uniformity가 굉장히 나쁩니다. 특히 부분적으로(랜덤하게 플라즈마 방전이 되지 않는 구간)플라즈마 방전이 되질 않습니다.
그 이유가 궁금하네요..
그리고 마지막으로 아르곤 플라즈마 방전과 관련된 참고 자료도 있으시면 부탁드리겠습니다.
고수님들의 많은 답변 부탁드립니다.
참고로 리모트 타입의 상압 플라즈마 장치 입니다.
- plasma
- discharge
- ar
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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