2008-08-01
org.kosen.entty.User@2e2602d3
정용석(rimto)
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e-beam의 dose를 서서히 올려가며 photoresist에 조사시켰을때
pr에서 threshold를 넘겼는지의 여부를 bake, dev 공정 없이 확인 할 수 있나요?
pr을 통과해 나온 e-beam에서의 electron을 분석한다던지
혹은 레이저로 조사해서 스펙트럼을 분석한다든지 하는 방법이라도..
- photoresist
- e-beam
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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