2008-08-04
org.kosen.entty.User@99fbeef
이근우(kkeun8722)
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상압 플라즈마 에서
Ar 35lpm, Power : 400W(균일도 떨어짐(500W에서 균일함))에서 아르곤 플라즈마
를 방전 시켰는데, O2의 경우네는 140lpm, 800W를 인가하여도 플라즈마 방전이
되질 않네요..
그 이유가 궁금합니다.
가르쳐 주세요
- Argon
- O2
- Plasma
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답변 2
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답변
김기범님의 답변
2008-08-06- 0
장비를 안 본 상태에서 뭐라 말씀드리긴 힘듭니다만, 페닝효과때문이 아닐까요? 일반적으로 플라즈마 프로세스에서 사용되는 가스중에서 Ar이 가장 방전시키기가 쉽습니다. Ar을 약간만 혼합하셔서 흘려주셔도 낮은 파워에서 플라즈마가 뜨리라 생각이 되고요, pure O2 가스에서 실험을 하실것 같으면 MFC를 연결하서서 방전초기에는 혼합가스 -> 점등후 산소가스, 라는 패턴도 한 가지 방법일 듯 하네요. >상압 플라즈마 에서 > >Ar 35lpm, Power : 400W(균일도 떨어짐(500W에서 균일함))에서 아르곤 플라즈마 > >를 방전 시켰는데, O2의 경우네는 140lpm, 800W를 인가하여도 플라즈마 방전이 > >되질 않네요.. > >그 이유가 궁금합니다. > >가르쳐 주세요 -
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유승열님의 답변
2008-08-07- 0
임피던스가 커져서 켜기 힘든겁니다. 동일한 파워에서 Ar과 O2 를 일정 비율로 섞어 실험해보십시오~ 또한 방전 확인을 oscilloscope로 확인하나요? 아님 육안으로 확인하나요? 산소의 경우 불 다 끄고 봐야 하얗게 잘 보여요~