2008-08-05
org.kosen.entty.User@3a8f3261
박승식(water3809)
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안녕하세요
Epi thin film의 두께 측정 방식에 대해 전문가들의 조언들 듣고싶습니다.
일반적으로 MOCVD나 따른 여러가지 방식으로 Epi를 증착을 하는데
growth rate에 의한 두께 측정방식 말고 다른 방식을 알고싶습니다.
일반적은 두께 측정기로는 측정이 불가하며
단면을 연마하여 측정할려고 했으나~
연마과정에서 불순물과 정확한 미세연마가안되어서 측정이 어려웠습니다.
물질은 SiC, GaN, ZnO 입니다.
고수님들의 의견 부탁드립니다.
- Epi
- thin film
- SiC
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 4
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김기범님의 답변
2008-08-06- 0
말씀하신 바와 같은 아주 얇은 박막의 경우에는 X-ray반사율을 이용한 막두께측정방법으로 보스닌 것이 적당하리라 생각됩니다. 구글이나 논문검색 사이트에서 X-ray refelectivity로 검색해보시면 많은 자료가 있을줄로 생각됩니다. >안녕하세요 > >Epi thin film의 두께 측정 방식에 대해 전문가들의 조언들 듣고싶습니다. > >일반적으로 MOCVD나 따른 여러가지 방식으로 Epi를 증착을 하는데 > >growth rate에 의한 두께 측정방식 말고 다른 방식을 알고싶습니다. > >일반적은 두께 측정기로는 측정이 불가하며 > >단면을 연마하여 측정할려고 했으나~ > >연마과정에서 불순물과 정확한 미세연마가안되어서 측정이 어려웠습니다. > >물질은 SiC, GaN, ZnO 입니다. > >고수님들의 의견 부탁드립니다. -
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김도형님의 답변
2008-08-08- 0
엘립소미터로도 측정 가능할 것 같습니다. 자세한 내용은 엘립소테크놀러지(http://www.ellipsotech.com)라는 회사에 한 번 문의해 보시는 것도 좋을 것 같습니다. >안녕하세요 > >Epi thin film의 두께 측정 방식에 대해 전문가들의 조언들 듣고싶습니다. > >일반적으로 MOCVD나 따른 여러가지 방식으로 Epi를 증착을 하는데 > >growth rate에 의한 두께 측정방식 말고 다른 방식을 알고싶습니다. > >일반적은 두께 측정기로는 측정이 불가하며 > >단면을 연마하여 측정할려고 했으나~ > >연마과정에서 불순물과 정확한 미세연마가안되어서 측정이 어려웠습니다. > >물질은 SiC, GaN, ZnO 입니다. > >고수님들의 의견 부탁드립니다. -
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이재덕님의 답변
2008-09-06- 0
MBE인 경우, 전통적으로 RHEED 진동을 이용하면 측정이 가능합니다. 최근 경향은 박막 성장중에 광(주로 레이저)을 이용하여 두께를 직접 축정하는 기술입니다. 예를 들면 k-space나 Laytech사에서 판매하는 장비를 한번 검토해 보세요. 기본 원리가 잘 설명되어 있으니 참고가 많이 될 것입니다. MOCVD의 경우는 광을 이용하는 것이 가장 좋겠지요. 이미 성장된 단일 박막의 경우, 다른 분이 말씀하신것 처럼 grazing incidence x-ray diffraction(여러가지 이름이 있습니다.)을 이용하는 것이 무척 정확합니다. 만들어진 시료를 가지고 측정하기가 무척 어려운 경우에는, 두께측정에 가장 적합한 구조를 설계해서 측정하는 것이 시간을 많이 절약할 듯 싶네요. >안녕하세요 > >Epi thin film의 두께 측정 방식에 대해 전문가들의 조언들 듣고싶습니다. > >일반적으로 MOCVD나 따른 여러가지 방식으로 Epi를 증착을 하는데 > >growth rate에 의한 두께 측정방식 말고 다른 방식을 알고싶습니다. > >일반적은 두께 측정기로는 측정이 불가하며 > >단면을 연마하여 측정할려고 했으나~ > >연마과정에서 불순물과 정확한 미세연마가안되어서 측정이 어려웠습니다. > >물질은 SiC, GaN, ZnO 입니다. > >고수님들의 의견 부탁드립니다. -
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이지훈님의 답변
2010-05-30- 0
RHEED 사용시 오차율이 일반적으로 5-10%정도 됩니다. 이는 측정에러가 주를 이룹니다. 여러가지 측정 에러가 있을 수 있는데, 즉, 적절하지 않은 픽 계산, 오실레이션 포인트간의 차이 등등... 일반적으로 sputer-lattice를 만들어서 XRD로 핏팅을 해서 두께를 측정해 볼 수 있습니다. 또는 TEM으로 찍어불 수도 있습니다. >안녕하세요 >>Epi thin film의 두께 측정 방식에 대해 전문가들의 조언들 듣고싶습니다.>>일반적으로 MOCVD나 따른 여러가지 방식으로 Epi를 증착을 하는데>>growth rate에 의한 두께 측정방식 말고 다른 방식을 알고싶습니다. >>일반적은 두께 측정기로는 측정이 불가하며 >>단면을 연마하여 측정할려고 했으나~ >>연마과정에서 불순물과 정확한 미세연마가안되어서 측정이 어려웠습니다.>>물질은 SiC, GaN, ZnO 입니다.>>고수님들의 의견 부탁드립니다.