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Electron beam lithography system (JC Nabity, NPGS) 문의

2008-08-13 org.kosen.entty.User@20181560 최재학(cjh6887)
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다시 여쭤봅니다. SEM에 부착하여 사용하는 Lithography 장비 중 JC Nabity의 NPGS를 사용하고 계신 곳을 알려주시면 감사하겠습니다. 꼭 좀 부탁드리겠습니다.
  • jcnabity
  • NPGS
  • lithography
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