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지식나눔

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진공증착이 아닌 용액공정으로 절연막(산화막, 질화막)을 잘하는 연구소나 연구팀을 알고싶습니다.

2008-08-24 org.kosen.entty.User@4c131933 류명관(mkryumk)
  • 1
반도체 소자에 쓰이는 게이트절연막을 진공증착(CVD)방법이 아닌 용액공정 (spin-coating등)으로 하는 연구그룹이나 관련정보를 알고싶습니다. 전세계적으로 어떤 그룹에서 어떤 결과를 내고 있는지요? 아시는분 부탁드립니다.
  • solution process
  • insulator
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답변 1
  • 답변

    고상운님의 답변

    2008-08-30
    • 0
    >반도체 소자에 쓰이는 게이트절연막을 진공증착(CVD)방법이 아닌 > >용액공정 (spin-coating등)으로 하는 연구그룹이나 관련정보를 알고싶습니다. > >전세계적으로 어떤 그룹에서 어떤 결과를 내고 있는지요? > > >아시는분 부탁드립니다. 삼성sdi에서 스핀코팅에 관한 기술이 사용화 되는걸로 알고 있습니다. 브라운관 및 PDP모듈 생산에서요.
    답변수정
    >반도체 소자에 쓰이는 게이트절연막을 진공증착(CVD)방법이 아닌 > >용액공정 (spin-coating등)으로 하는 연구그룹이나 관련정보를 알고싶습니다. > >전세계적으로 어떤 그룹에서 어떤 결과를 내고 있는지요? > > >아시는분 부탁드립니다. 삼성sdi에서 스핀코팅에 관한 기술이 사용화 되는걸로 알고 있습니다. 브라운관 및 PDP모듈 생산에서요.
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