2008-09-30
org.kosen.entty.User@3120e8b7
박재경(espjk)
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gate insulator로 사용할 물질을 ALD 방법으로 증착하고 싶습니다.
ALD 증착 공정을 의뢰할 수 있는 곳을 알 수 있을까요?
(ITO glass 위에 공정을 진행하기 때문에 oxidation은 힘듭니다)
여러 곳을 소개해주시면 감사하겠습니다.
- ALD
- gate oxide
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
고상운님의 답변
2008-09-30- 0
>gate insulator로 사용할 물질을 ALD 방법으로 증착하고 싶습니다. > >ALD 증착 공정을 의뢰할 수 있는 곳을 알 수 있을까요? > >(ITO glass 위에 공정을 진행하기 때문에 oxidation은 힘듭니다) > >여러 곳을 소개해주시면 감사하겠습니다. 카이스트 반도체 재료 연구실을 소개해 드립니다. 042-869-4261