2008-09-30
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김형준(beatlessta)
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MIS구조의 소자에서 insulator의 C-V특성 측정시 궁금한 점이 있어서 이렇게 글을 남깁니다.
우리 lab에서 사용하는 측정 장비는 HP4280A와 probestation을 이용하고 있는데요.
hp4280A즉 C-V plotter에서 측정 방식을 정 할때 floating과 grounded 두가지 모드가 있는데 정확히 각각의 모드에서 어？F게 capacitance값이 측정되는 건지 궁금합니다.
덧글 부탁드릴게요~
- C-V
- insulator
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