2008-10-10
org.kosen.entty.User@1423dbb
이정환(li1225)
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안녕하세요, 코센유저님들.
제가 Amine을 Vapor SAM(Self Aligned Monolayer) 방식으로 증착을 하고 싶습니다.
기존에는 ATPES를 Volume 3%로 Ethanol에 희석하여 LIquid 방식으로 증착하였는데,
Vapor 방식으로 증착하고 싶습니다.
혹시 Amine기를 Vapor형태로 형성할 수 있는 방식에 대해 알고 계시면 답변 부탁드립니다.
혹은 Amine기를 Ethaol이나 Methaol 성분없이 Liquid 방식으로 증착 할 수 있는 방법이 있을까요??
그럼 모두 수고하세요~
- Amine
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답변 1
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답변
박정호님의 답변
2008-10-14- 0
간혹 문헌에서 solution이 아닌 vapor 상으로 기판에 SAM 처리하는 법들이 나오곤 하는데.. 아주 간단합니다. 데시케이터에 원하는 기판과 도입하시고자 하는 SAM물질(한 두 방울 정도)을 다소간 거리를 두고 넣습니다. 그리고 데시케이터에 로터리 펌프를 연결하여 감압시켜 주는 것이죠. SAM 물질의 vapor pressure나 온도, 압력 등이 변수로 작용할 수 있겠지만 SAM 물질의 vapor가 데시케이터 내부를 채우게 되고 기판( -OH기 표면을 가지는 기판이겠지요) 3-aminopropyltriethoxysilane의 silane기가 hydrolysis에 의해 기판에 도입됩니다. 보통 액상으로 SAM을 도입하는 것에 비해 vapor 방식이 density가 높은 SAM을 얻는 것이 어렵다고 문헌에서 읽은 것이 기억나군요. 방식은 간단하나 용액 공정에 비해 변수가 많죠. 핵심은 데시케이터 내부를 도입하시고자 하는 물질의 vapor로 채운후 장시간 기판에 노출시키는 것이니 적절한 vacuum이나 heating을 이용하시어 특정한 공간내에 원하시는 SAM 물질을 효과적으로 증기화시키고 유지하는게 관건인듯합니다. 계속적으로 vacuum을 걸어주면 loading했던 ATPES가 다 증발되어 펌프 드레인으로 날라가버리니 일정 시간 감압을 시켜주어 ATPES를 증기화시킨 다음 SAM이 형성될 수 있도록 충분한 시간을 주어 방치하시는 것도 방법인듯.. >안녕하세요, 코센유저님들. > >제가 Amine을 Vapor SAM(Self Aligned Monolayer) 방식으로 증착을 하고 싶습니다. > >기존에는 ATPES를 Volume 3%로 Ethanol에 희석하여 LIquid 방식으로 증착하였는데, >Vapor 방식으로 증착하고 싶습니다. > >혹시 Amine기를 Vapor형태로 형성할 수 있는 방식에 대해 알고 계시면 답변 부탁드립니다. > >혹은 Amine기를 Ethaol이나 Methaol 성분없이 Liquid 방식으로 증착 할 수 있는 방법이 있을까요?? > >그럼 모두 수고하세요~ >