2008-10-10
org.kosen.entty.User@4b3aaafb
신동문(squareshin)
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2mm 두께의 Al2O3-TiC 기판을 RIE 작업을 통해 에칭을 하려고 합니다.
국내에서 작업할 수 있는 곳이 있을까요?
RIE를 보유하고 있는 대부분의 실험실이나 Fab.은 Si 기판만 가공을 해 보았고 Al2O3-TiC 기판은 가공을 안해봤기 때문에 못한다고 하더군요...
혹시 작업 가능한 곳이 있으면 알려주세요..
- Al2O3-TiC
- RIE
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
이정환님의 답변
2008-10-10- 0
Al2O3 Etching 잘 안되던데요... Reactive한 Gas가 먼지 잘 몰라서 Ar으로 깍았었던;; Etching 기술 보유한곳을 찾으시길 바랍니다.