2008-10-13
org.kosen.entty.User@1601350e
임영진(notice)
- 1
제가 Boron을 RF-sputtering으로 Al2O3 기판에 증착하려고 합니다.c-cut, r-cut 두 개 기판에다가 증착을 하려고 하는데 몇시간을 해도 증착은 되지 않고 다른 곳에 증착이 됩니다. 즉 다시 말하면 기판이 아닌 다른 부분에 증착이 됩니다.
Boron이 sputtering으로는 잘 안된다고는 하는데 그래도 증착하려고 합니다.
sputtering 하시는 분들은 증착이 잘 안될때 어떤 방법을 사용하시는지 가리켜 주세요.
- Boron
- Sputtering
- Al2O3
지식의 출발은 질문, 모든 지식의 완성은 답변!
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
답변 1
-
답변
이종수님의 답변
2008-10-13- 0
일반적인 방법으로 붕소 증착은 어렵습니다. Magnetron sputtering 방법으로 boron을 증착시킨 방법이 미국 특허에 있으니 아래 특허를 참고하시기 바랍니다. US Patent 등록번호: 6569293 >제가 Boron을 RF-sputtering으로 Al2O3 기판에 증착하려고 합니다.c-cut, r-cut 두 개 기판에다가 증착을 하려고 하는데 몇시간을 해도 증착은 되지 않고 다른 곳에 증착이 됩니다. 즉 다시 말하면 기판이 아닌 다른 부분에 증착이 됩니다. >Boron이 sputtering으로는 잘 안된다고는 하는데 그래도 증착하려고 합니다. >sputtering 하시는 분들은 증착이 잘 안될때 어떤 방법을 사용하시는지 가리켜 주세요.