2008-10-16
org.kosen.entty.User@7a184637
김기중(heykijoong)
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안녕하세요.
OTFT 제작중에 한가지 고민이 생겨서 질문드립니다.
OTFT channel layer(pentacene)를 증착하려고합니다
저희 연구실에는 일단 thermal evaporator가 있는데
유기물 종류는 처음 해보는거라서요
유기물 Boat가 따로 있는 걸로 아는데,
혹시 그냥 일반 금속물질 증착 할때 사용하는 길고 넙쭉한 W(boat)를 사용하면
문제가 발생하나요??
유기물 증착하는 보트는 세라믹 도가니 위에 녹여서 증착하는 거 같은데,
일반 보트를 사용하면 차이점이 뭔가요>??
- organic
- pentacene
- thermal evporator
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 1
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답변
조돈찬님의 답변
2008-10-18- 0
Pentacene은 증착해 본 경험이 없어서 정확하게 답변드리기 어렵습니다만, 저분자 OLED에서 유기재료와 금속전극 증착 경험을 토대로 답변드리니 참고하시기 바랍니다. Thermal Evaporation에는 두가지 방법을 사용합니다. 하나는 특정 금속의 저항을 이용하는 방법이고 또다른 하나는 램프의 복사열을 이용하는 방법입니다. 문의하신 Boat를 사용하는 것은 저항식입니다. 램프를 사용하는 경우 도가니를 이용합니다만, 열증착방식이기 때문에 열전도율은 높은 재료를 사용합니다. Boat를 이용하는 방식은 Boat로 사용되는 재료의 전기저항을 이용하여 발생하는 주울열을 증착을 위한 열방출원으로 사용하기 때문에 재료에 따라 사용 온도 범위가 결정되고 온도에 따라 한정 사용 회수도 다릅니다. (당연히 가격에도 차이가 납니다.) 유기재료(OLED의 경우) 몰리브덴 재질의 Boat를 사용하고 금속전극(LiF/Al) 증착에는 텅스텐 재질의 Boat를 사용했었습니다. 몰리브덴 재질의 Boat의 경우 금속전극 증착에 사용하면 증착 온도에서 몰리브덴과 알루미늄이 반응하여 재사용이 불가하고 금속전극 막질에도 영향을 주기 때문에 반응성을 고려하여 텅스텐 재질의 Boat를 사용하는 하나의 원인이 됩니다. 증착 Boat의 재질, 형상 등은 막질 및 성막 재료의 순도 등에 영향을 줄 수 있기 때문에 적당한 Boat의 선별이 필요하다고 할 수 있겠습니다. 참고가 되셨기를 바랍니다. >안녕하세요. >OTFT 제작중에 한가지 고민이 생겨서 질문드립니다. >OTFT channel layer(pentacene)를 증착하려고합니다 >저희 연구실에는 일단 thermal evaporator가 있는데 >유기물 종류는 처음 해보는거라서요 >유기물 Boat가 따로 있는 걸로 아는데, >혹시 그냥 일반 금속물질 증착 할때 사용하는 길고 넙쭉한 W(boat)를 사용하면 문제가 발생하나요?? >유기물 증착하는 보트는 세라믹 도가니 위에 녹여서 증착하는 거 같은데, >일반 보트를 사용하면 차이점이 뭔가요>??