2008-10-18
org.kosen.entty.User@4cfaede5
임유승(rim2000)
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안녕하세요
TiO2 가 가지는 물성적인 측면에서 코센의 분석글에도 나와 있는데 TiO2는 여러가지로
문제점이 있다고 하는데 실제로 소자 제작시 나타나는 큰 문제점과 반대로 장점은 무엇이
있을지 궁금합니다.
- TiO2
- GI
- MOSFET
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답변 1
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답변
성진욱님의 답변
2008-10-25- 0
>안녕하세요 > >TiO2 가 가지는 물성적인 측면에서 코센의 분석글에도 나와 있는데 TiO2는 여러가지로 > >문제점이 있다고 하는데 실제로 소자 제작시 나타나는 큰 문제점과 반대로 장점은 무엇이 > >있을지 궁금합니다. > 안녕하세요 ? 짧은 지식이나마 제가 알고 있는 범위에서 답변을 드리면 문제점: 1) TiO2의 경우 온도에 따라 상변이가 일어나기 때문에 실제 소자 를 장시간 구동시 발생하는 열에 의한 물성의 변화가 일어날 수 있습니다. 2) 반도체 소자 제조 시 etching 공정에서 불량이 발생하기도 합니다. 장점 : 산화물로서 전기 절연성이 우수합니다. 이상입니다. 도움이 되었으면합니다.
감사드립니다! 많은 공부 되었습니다.~