2008-10-21
org.kosen.entty.User@51b6ba9f
이준희(amugi)
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si 기판에 ZnO 와 SnO2를 증착했습니다.
실험조건은 24가지 입니다
x-ray 를 찍은후 보니 기판인 Si 피크가 나오는 곳도 있고 없는 경우가
나왔습니다,
무슨 이유로 그렇게 나오는지를 알고 싶습니다.
두께차이?,
그리고 두개의 다른 물질이 같은 곳에서 피크가 뜰 경우 어떻게 구분을
하는지 알고 싶습니다.
고수님들 부탁합니다.
- x-ray
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
김도형님의 답변
2008-10-22- 0
XRD를 찍을 때 기판 Si 피크가 나타난다면 두께 차이일 가능성이 가장 큽니다. 박막 XRD를 찍을 때 통상적으로 나타나는 현상이므로 해석할 때 제외하면 큰 문제는 없고요. 두 개의 다른 물질이 같은 곳에서 피크가 뜰 경우 2nd peak을 비교합니다. 보통 결정의 경우 한 곳에서만 피크가 뜨지 않고 여러 곳에서 뜨기 때문에 하나를 비교하기 보다 peak set을 비교하는 것이 보다 정확합니다. >si 기판에 ZnO 와 SnO2를 증착했습니다. > >실험조건은 24가지 입니다 > >x-ray 를 찍은후 보니 기판인 Si 피크가 나오는 곳도 있고 없는 경우가 > >나왔습니다, > >무슨 이유로 그렇게 나오는지를 알고 싶습니다. > >두께차이?, > >그리고 두개의 다른 물질이 같은 곳에서 피크가 뜰 경우 어떻게 구분을 > >하는지 알고 싶습니다. > >고수님들 부탁합니다. -
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최규석님의 답변
2008-10-22- 0
>si 기판에 ZnO 와 SnO2를 증착했습니다. > >실험조건은 24가지 입니다 > >x-ray 를 찍은후 보니 기판인 Si 피크가 나오는 곳도 있고 없는 경우가 > >나왔습니다, > >무슨 이유로 그렇게 나오는지를 알고 싶습니다. > >두께차이?, > >그리고 두개의 다른 물질이 같은 곳에서 피크가 뜰 경우 어떻게 구분을 > >하는지 알고 싶습니다. > >고수님들 부탁합니다. 일단 증착이 일정하게 되지 않아서 시료를 측정할때 두꺼운 부분을 측정했을경우에는 Si기판 peak이 나오지 않지만, 얇은 부분을 측정하였다면 Si기판 peak이 나오게 됩니다. 일단 ZnO와 SnO2 두가지의 JCPDS(ICDD)를 확인하시면 각 결정에 대한 peak 데이터들이 나오게 됩니다. 두 종류의 각 2쎄타 peak 전체를 확인하시고 각각을 구별할 수 있습니다.