2008-10-23
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김양수(dlinka)
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외벽의 재질이 SUS304이고, 50mm 두께로 제작된 챔버가 진공압력 100 mTorr 상태로
실내온도 25℃인 크린룸에서 가동되고 있읍니다. 연면적은 약 36㎡입니다.
이상기체 상태방정식에 의해 압력과 온도는 반비례 한다고 하지만, 완전한 단열이 아니기 때문에 외부에서의 열 취득이 있을것 같읍니다.
즉, 이상기체 상태방정식의 수치를 그대로 적용하기는 힘들것 같은데요, 이정도의 진공압력
이라면 대기압 상태와 비교 열전달 효율이 어느정도 될까요?
내부의 대략적인 온도를 산출할수 있나요?
- vacuum
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답변 2
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답변
송준희님의 답변
2008-11-05- 0
>외벽의 재질이 SUS304이고, 50mm 두께로 제작된 챔버가 진공압력 100 mTorr 상태로>실내온도 25℃인 크린룸에서 가동되고 있읍니다. 연면적은 약 36㎡입니다.>이상기체 상태방정식에 의해 압력과 온도는 반비례 한다고 하지만, 완전한 단열이 아니기 때문에 외부에서의 열 취득이 있을것 같읍니다.>즉, 이상기체 상태방정식의 수치를 그대로 적용하기는 힘들것 같은데요, 이정도의 진공압력>이라면 대기압 상태와 비교 열전달 효율이 어느정도 될까요?>내부의 대략적인 온도를 산출할수 있나요? 언급하신대로 완전단열도 아니고, 챔버내부의 유동상태나 조건이 구체적이지 아니하므로 이론적인 수치는 오차가 있을 듯합니다. 열전대를 챔버내에 몇곳에 설치하여 실측하는 것이 빠르고 정확합니다. -
답변
김진철님의 답변
2008-12-17- 0
실제 진공에서의 분자 자유 운동에의해 열전자가 이동되는 것으로 내부 벽 표면에 상태가 매우 중요하다고 봅니다. 진공도는 그리 고진공은 아닌 듯 싶고요. 그렇다면 내부벽면에 반사막을 코팅하는 방법을 많이 이용합니다. 특히 알미늄을 증착하기도 하고요. 진공 보온 병도 예전엔 유리로 만들 땐 내부에 알미늄 코팅을 하고 개더라고 흡착물질을 넣어 두곤 합니다. 전구나 브라운관 에도 개더를 이용한답니다. 참고 ？으면 좋겠습니다. >외벽의 재질이 SUS304이고, 50mm 두께로 제작된 챔버가 진공압력 100 mTorr 상태로>실내온도 25℃인 크린룸에서 가동되고 있읍니다. 연면적은 약 36㎡입니다.>이상기체 상태방정식에 의해 압력과 온도는 반비례 한다고 하지만, 완전한 단열이 아니기 때문에 외부에서의 열 취득이 있을것 같읍니다.>즉, 이상기체 상태방정식의 수치를 그대로 적용하기는 힘들것 같은데요, 이정도의 진공압력>이라면 대기압 상태와 비교 열전달 효율이 어느정도 될까요?>내부의 대략적인 온도를 산출할수 있나요?
Chamber 내부의 온도를 엄밀하게 나눈다면, Chamber 자체의 온도와 Plasma 온도로 구분이 되지만, 위에서 언급한데로라면 Plasma가 켜지지 않은상태의 상온을 얘기 하는것인데, 또한가지 문제점이 Chamber온도를 Control하는 Chiller 의 제어 능력치가 포함되어야 한다는것입니다. Chiller자체가 25도 상온을 유지 한다면 외부로부터 열확산현상등이 적을것입니다. 거의 없다고 보시는것이 좋겠네요.