2008-11-24
org.kosen.entty.User@5036b89e
김기중(heykijoong)
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제가 PVP를 Transistor에 Gate insulator로 사용하려고 합니다.
일반적으로 많이 쓰이고 있는 PVP를 증착하려고 합니다.
근데 Spin coating으로 올려보니, MIM 구조에서 영.. 안좋은 결과를 보이더군요...
스핀코팅을 돌린후 베이킹 할때 N2,Ar 분위기 에서 안해서 인지..
원인은 잘모르겠습니다.
그래서 말인데, 혹시 PVP같은 유기 물질을 Spin coating 말고 다른 방법으로 올릴 수 있을까요???
- PVP
- spincoating
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