2009-01-05
org.kosen.entty.User@133eec31
임민철(kenbabo)
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안녕하세요?
su-8 2100 으로 패터닝을 할려고 하는데요
spin coating을 할때 pr을 덜어서 실리콘판 위에 올려야 하는데
점성이 너무 강해서 기포도 많이 생기고 하네요.
일반적으로 하는 것처럼 스포이드를 사용해서 하면되나요?
아니면 제가 pr 보관을 잘못해서 그런건 가요? ㅠㅠ
- SU-8
- pr
- photo resist
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답변 2
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답변
이정아님의 답변
2009-01-06- 0
SU 시리즈는 대부분 점성이 강하죠. 그래서 positive PR 다룰 때와는 달리 주의해야하는 점이 많아요. substrate위에 SU-8을 붓고 골고루 안정화 될 때까지 기다리는 것이 필요하구요 주사기 바늘 같은 것으로 기포는 터뜨리거나 살짝 빨아들이는 것이 필요해요. 그리고 점성이 강하기 때문에 스포이드로 하기 보다는 작은 용기에 su-8을 옮겨 담은 다음 그 작은 용기를 가지고 substrate 위에 su-8을 부어주는 것이 좋답니다. 그리고 IPA가지고 rinse하셔야 하구요. >안녕하세요? > >su-8 2100 으로 패터닝을 할려고 하는데요 > >spin coating을 할때 pr을 덜어서 실리콘판 위에 올려야 하는데 > >점성이 너무 강해서 기포도 많이 생기고 하네요. > >일반적으로 하는 것처럼 스포이드를 사용해서 하면되나요? > >아니면 제가 pr 보관을 잘못해서 그런건 가요? ㅠㅠ -
답변
이정환님의 답변
2009-01-13- 0
Su-8 PR은 점성이 강한 PR입니다. PR을 작은 용기에 옮겨담은후, Ultra Sonic을 이용해서 기포를 제거하는 방법이 있다고 들었습니다. 또한 Wafer에 도포시 기포가 안생기게 따르는게 중요한 노하우 입니다. Spin Coating시에는 RPM을 저속에서 충분히 퍼지도록 해주는게 좋습니다.(RPM 및 Accelation 속도 조절) 또한 공정 후 HardBake를 통해서 Curing을 하면 다소의 기포 제거가 가능할수도 있습니다.