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지식나눔

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LCD 노광공정에서

2009-01-15 org.kosen.entty.User@fae6057 김양수(dlinka)
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자외선(G,H,I선)을 이용하여 노광을 할때 PR(감광액)이 휘발되면서 생성되는 Out-gas 입자는 양전하인지 음전하인지 예측할수 있는지요? 아니면 측정방법이 있을까요?
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