2009-01-21
org.kosen.entty.User@29d24f72
박재경(espjk)
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안녕하세요.
제가 ALD로 Al2O3를 증착하고 싶은데 증착가능한 장소가 있다면 알려주세요
예전에 광주나노기술집적센터에서 증착을 한적이 있는데
uniformity가 많이 떨어지더라구요. 다른 곳에서 증착을 해보고 싶은데요.
경기도나 서울쪽에서 증착가능하면 더 좋을 것 같습니다.
아시는 곳이 있다면 알려주세요.
- ALD
- Al2O3
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답변 1
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답변
이정환님의 답변
2009-01-21- 0
경기나노팹에는 검색결과 ALD 장비가 없는것 같습니다. 대전나노팹에 ALD로 Al2O3 및 HfO2 증착 가능하네요. Diffusion Part에 있습니다. http://nnfc.com 서울대학교 반도체공정연구소도 있는걸로 아는데, 홈페이지에서 검색해보니깐 검색이 안되니요.. http://isrc.snu.ac.kr