지식나눔

GaN 기판에 ZnO 증착

GaN 기판에 ZnO 증착 하려고 합니다. 1.sputter 기법말고 e-beam 증착도 가능한가요? 2.e-beam으로 GaN 기판에 ZnO 증착후에 광학적 특성이 어떻게 될까요?
  • ZnO
  • GaN
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