지식나눔

PLED Polymer(HIL/HTL/EML/ETL/EIL) 플라즈마 처리 효과

고수님들께 몇가지 여쭈어보겠습니다. PLED의 경우, 상압에서 공정이 가능한데ITO 증착 다음 공정부터인 Polymer 코팅(spin coating or Inkjet)에서 각 층(HIL/HTL/EML/ETL/EIL)마다 O2 플라즈마로 처리 할 경우, 어떤 현상이 이루어지는 궁금합니다. 알려주세요 물론 O2 플라즈마의 경우, 상압 플라즈마를 전재로 합니다. 부탁드려요..
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