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지식나눔

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a-Si 후막 코팅(증착)

2009-02-12 org.kosen.entty.User@6129258f 강현욱(hanulgil)
  • 1
Glass 위에 a-Si을 수십 micron 단위로 올리고 싶습니다. 가능한 방법이 어떤 것이 있을까요? 기왕이면 대형 size 까지 가능한 방법이면 더 좋을 것 같습니다. 도움을 요청드립니다.
  • silicon
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답변 1
  • 답변

    이승우님의 답변

    2009-02-12
    • 0
    박막제조기술을 이용하여야 할 듯 싶네요. 박막제조기술은 SOFC, PEMFC 등의 연료전지 전기/전해질 박막코팅, 대형 광기전판 코팅 등의 반도체 화학센서, TiO2 등의 광촉매 코팅과 같은 광범위한 첨단 기술에 적용되는 기반 기술임. 산업적으로 그리고 실험실 수준에서 광법위하게 사용되는 방법은 CVD (chemical vapor deposition)과 스퍼터링 (sputtering), PLD (pulse laser depositon)과 졸-겔 (sol-gel) 방법들이 사용되는 되구요. 질문하신 비정질 형태의 Si를 도포하는 방법은 실란을 이용하는 졸겔법을 활용하시는 것이 가장 합리적일 듯 싶습니다. >Glass 위에 a-Si을 수십 micron 단위로 올리고 싶습니다. >가능한 방법이 어떤 것이 있을까요? >기왕이면 대형 size 까지 가능한 방법이면 더 좋을 것 같습니다. > >도움을 요청드립니다.
    답변수정
    박막제조기술을 이용하여야 할 듯 싶네요. 박막제조기술은 SOFC, PEMFC 등의 연료전지 전기/전해질 박막코팅, 대형 광기전판 코팅 등의 반도체 화학센서, TiO2 등의 광촉매 코팅과 같은 광범위한 첨단 기술에 적용되는 기반 기술임. 산업적으로 그리고 실험실 수준에서 광법위하게 사용되는 방법은 CVD (chemical vapor deposition)과 스퍼터링 (sputtering), PLD (pulse laser depositon)과 졸-겔 (sol-gel) 방법들이 사용되는 되구요. 질문하신 비정질 형태의 Si를 도포하는 방법은 실란을 이용하는 졸겔법을 활용하시는 것이 가장 합리적일 듯 싶습니다. >Glass 위에 a-Si을 수십 micron 단위로 올리고 싶습니다. >가능한 방법이 어떤 것이 있을까요? >기왕이면 대형 size 까지 가능한 방법이면 더 좋을 것 같습니다. > >도움을 요청드립니다.
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