2009-03-09
org.kosen.entty.User@6b92bf22
전제훈(kalaful)
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Oxygen plasma를 무기 박막에 진공이나 상압에서 표면처리하면
에칭 되나요??
제가 무기 박막에 플라즈마 처리 실험을 해볼려고 하는데
그렇게 될지 궁금해서 질문 드립니다.
논문이나 참고 자료 있으신분~^^
수고하세여~
- plasma treatment
- oxygen plasma
- AZO
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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