지식나눔

Oxygen plasma에 관한 질문 하나 해도 될까여?

Oxygen plasma를 무기 박막에 진공이나 상압에서 표면처리하면 에칭 되나요?? 제가 무기 박막에 플라즈마 처리 실험을 해볼려고 하는데 그렇게 될지 궁금해서 질문 드립니다. 논문이나 참고 자료 있으신분~^^ 수고하세여~
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