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지식나눔

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SiCOH박막의 29Si NMR

2009-03-15 org.kosen.entty.User@115afed5 한희(hanheekr)
  • 2
박막으로된 low-k물질을 NMR분석을 통해 Si함량의 NMR을 보고 싶은데 Low-k박막을 녹일수 있는 추천할만한 용매는 무엇이 있을까요?
  • NMR
  • 절연막
  • Si
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답변 2
  • 답변

    이상후님의 답변

    2009-03-16
    • 0
    >박막으로된 low-k물질을 NMR분석을 통해 Si함량의 NMR을 보고 싶은데 >Low-k박막을 녹일수 있는 추천할만한 용매는 무엇이 있을까요? 박막을 녹일 필요없이 특정온도에서 deposition시킨 필름을 직접 29Si Solid-State CP-magic angle spinning(MAS) NMR로 분석해 보는건 어떨까요..
    답변수정
    >박막으로된 low-k물질을 NMR분석을 통해 Si함량의 NMR을 보고 싶은데 >Low-k박막을 녹일수 있는 추천할만한 용매는 무엇이 있을까요? 박막을 녹일 필요없이 특정온도에서 deposition시킨 필름을 직접 29Si Solid-State CP-magic angle spinning(MAS) NMR로 분석해 보는건 어떨까요..
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  • 답변

    안길홍님의 답변

    2010-02-01
    • 0

    첨부파일

    >박막으로된 low-k물질을 NMR분석을 통해 Si함량의 NMR을 보고 싶은데 >Low-k박막을 녹일수 있는 추천할만한 용매는 무엇이 있을까요? 첨부자료
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    >박막으로된 low-k물질을 NMR분석을 통해 Si함량의 NMR을 보고 싶은데 >Low-k박막을 녹일수 있는 추천할만한 용매는 무엇이 있을까요? 첨부자료
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