2009-03-16
org.kosen.entty.User@4eb5c4f
이근우(kkeun8722)
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고수님들께 질문 있습니다.
MOCVD를 이용하여, 사파이어 기판위에 Gan을 증착하려고 합니다.
증착 뒤 사파이어기판을 재사용하려는데, 사파이어에는 damage없이 Gan 만을 스트립 할 수 있는 용액이 있을까요?
대부분의 논문에서는 KOH를 사용하던데, 이게 맞는지요.
궁금합니다. 알려주세요
- Gan
- Strip
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