지식나눔

화합물 반도체 Gan buffer layer 특성 분석

화합물 반도체(GaN)성장시 사파이어 기판을 많이 사용하는데 왜 (0001)방향을 가진 기판을 많이 사용하는지 궁금합니다. 그리고 GaN buffer layer까지만 성장시 측정 방법이 궁금합니다. 논문들을 보면 XRD, AFM, Photoluminescence 로 특성을 평가하는데, 무엇을 측정하려고 하는지와 왜 측정하느지가 궁금합니다 고수님들의 의견을 듣고 싶습니다.
  • 사파이어
  • xrd
  • afm
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