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지식나눔

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spreading resistance profile(SRP) 장비 국내에 있나요??

2009-03-25 org.kosen.entty.User@488c1016 안치홍(ach8057)
  • 2
Polysilicon의 dopant activation정도를 알고자 하는데요. 이전의 경험을 보면 spreading resistance profile(SRP)를 이용하면 activation된 dopant의 양을 정량화 할 수 있는 것으로 알고 있습니다. 국내에 혹시 이장비가 있는지요???
  • SRP
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답변 2
  • 답변

    안길홍님의 답변

    2009-04-20
    • 0

    첨부파일

    Silicon의 dopant에 대하여 경기대학교 전자공학과 정원채 교수가 발표한 내용이 있는데, 경기대학교 정 교수에게 연락을 한번 하여보시는 것이 어떻겠습니까.
    답변수정
    Silicon의 dopant에 대하여 경기대학교 전자공학과 정원채 교수가 발표한 내용이 있는데, 경기대학교 정 교수에게 연락을 한번 하여보시는 것이 어떻겠습니까.
    등록된 댓글이 없습니다.
  • 답변

    이상후님의 답변

    2010-01-29
    • 0
    >Polysilicon의 dopant activation정도를 알고자 하는데요. >이전의 경험을 보면 spreading resistance profile(SRP)를 이용하면 activation된 dopant의 양을 정량화 할 수 있는 것으로 알고 있습니다. >국내에 혹시 이장비가 있는지요??? > KAIST에 있습니다. 또한 실바코란 회사에 문의해 보세요. www.silvaco.co.kr
    답변수정
    >Polysilicon의 dopant activation정도를 알고자 하는데요. >이전의 경험을 보면 spreading resistance profile(SRP)를 이용하면 activation된 dopant의 양을 정량화 할 수 있는 것으로 알고 있습니다. >국내에 혹시 이장비가 있는지요??? > KAIST에 있습니다. 또한 실바코란 회사에 문의해 보세요. www.silvaco.co.kr
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