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지식나눔

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진공증착을 감소시킬수 있는 방안문의

2009-04-22 org.kosen.entty.User@3f9ab8c0 김양수(dlinka)
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Sputter 공정시 Target에서 휘발한 물질이 기구부나 구동부등에 증착되어 주기적으로 Maint를 수행해야 합니다. 증착을 방지할수 있는 재료나 방법이 있을까요? 조언을 부탁드립니다.
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