2009-06-10
org.kosen.entty.User@2cd72b1e
김준제(sherajard)
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일반적으로 투과율은 기판이 투명한것만 가능한가요?
유리나 플라스틱과 같은 투명한 기판만 투과율 측정이 가능한가요?
그렇다면 실리콘 같이 불투명한 기판위의 박막을 직접 측정하는 방법은 없는가요?
따로 유리기판위에 박막 증착 후 측정하는 법 외에는 없는가요?
고수님들의 많은 조언 부탁드립니다.
- 투과율
- ZnO
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
박형식님의 답변
2009-06-11- 0
>일반적으로 투과율은 기판이 투명한것만 가능한가요? >유리나 플라스틱과 같은 투명한 기판만 투과율 측정이 가능한가요? >그렇다면 실리콘 같이 불투명한 기판위의 박막을 직접 측정하는 방법은 없는가요? >따로 유리기판위에 박막 증착 후 측정하는 법 외에는 없는가요? >고수님들의 많은 조언 부탁드립니다. 빛이 뚫고 나간다면 유리기판이 좋을 듯 싶고, 그렇지 않다면 실리콘에 하셔도 됩니다 -
답변
김도형님의 답변
2009-06-11- 0
흡수율을 모르는 상태에서 투과율을 "직접" 측정하고자 한다면 당연 투명한 기판위의 박막을 측정해야 할 것입니다. 다만, 박막의 광학 상수를 측정하고 이를 통하여 투과율을 계산한다면 실리콘 위에서 측정하는 것도 가능할 것입니다. 예를 들어 엘립소메터 같은 장비로 실리콘 위에서의 박막의 광학상수를 구하고 이를 통하여 특정 조건에서의 반사율, 투과율 등을 계산하는 것입니다. >일반적으로 투과율은 기판이 투명한것만 가능한가요? >유리나 플라스틱과 같은 투명한 기판만 투과율 측정이 가능한가요? >그렇다면 실리콘 같이 불투명한 기판위의 박막을 직접 측정하는 방법은 없는가요? >따로 유리기판위에 박막 증착 후 측정하는 법 외에는 없는가요? >고수님들의 많은 조언 부탁드립니다. -
답변
유영재님의 답변
2009-06-15- 0
>일반적으로 투과율은 기판이 투명한것만 가능한가요? >유리나 플라스틱과 같은 투명한 기판만 투과율 측정이 가능한가요? >그렇다면 실리콘 같이 불투명한 기판위의 박막을 직접 측정하는 방법은 없는가요? >따로 유리기판위에 박막 증착 후 측정하는 법 외에는 없는가요? >고수님들의 많은 조언 부탁드립니다. 불투명 재질 상의 박막 투과율을 말씀하시는 거라면 빛의 투과,반사를 이용하여 투과율을 측정하는 걸로 알고 있습니다. 수원 소재 엘립소 테크놀로지라는 회사에서 상기 측정 가능한 측정기를 개발한 걸로 알고 있습니다.