2009-06-11
org.kosen.entty.User@ba9060c
민경익(minwing805)
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안녕하세요. 금속 에칭관련하여 문의합니다.
SUS(STS)계열, Stavax 등의 표면에 PR도포 후 수십 마이크로 크기의 라인 패터닝 후 금속을 에칭하려고 합니다.
자료를 보면 대충 FeCl2 로 한다고 나와있는것도 있고, 여러가지를 섞어서 하는 것도 있다고 하는데, 자세히 좀 알고 싶습니다.
요지는 SUS나 Stavax 를 쉽고 빠르게 에칭할 수 있는 화합물과 조건에 대해서 알고 싶습니다.
또 관련 자료가 있다면 알려주세요.
- 에칭
- SUS
- Stavax
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-06-30- 0
첨부자료 -
답변
이상후님의 답변
2010-01-26- 0
>안녕하세요. 금속 에칭관련하여 문의합니다. > >SUS(STS)계열, Stavax 등의 표면에 PR도포 후 수십 마이크로 크기의 라인 패터닝 후 금속을 에칭하려고 합니다. > >자료를 보면 대충 FeCl2 로 한다고 나와있는것도 있고, 여러가지를 섞어서 하는 것도 있다고 하는데, 자세히 좀 알고 싶습니다. > >요지는 SUS나 Stavax 를 쉽고 빠르게 에칭할 수 있는 화합물과 조건에 대해서 알고 싶습니다. > >또 관련 자료가 있다면 알려주세요. metal etching 참고자료