2009-06-12
org.kosen.entty.User@1d9f7d76
김민호(thirtyse7en)
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성장 온도라던지 성장시키는 박막 재료의 밀도 등 박막을 성장 시킬 때
주로 고려해야 할 제어 변수들은 무엇이 있을지 궁금합니다.
꽤나 많을 거 같은데, 저는 몇 가지 밖에 생각이 안나네요..ㅠㅠ
- 박막 성장
- 제어 변수
- 공정 변수
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답변 2
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답변
유영재님의 답변
2009-06-15- 0
>성장 온도라던지 성장시키는 박막 재료의 밀도 등 박막을 성장 시킬 때 >주로 고려해야 할 제어 변수들은 무엇이 있을지 궁금합니다. > >꽤나 많을 거 같은데, 저는 몇 가지 밖에 생각이 안나네요..ㅠㅠ 중요 팩터중 하나가 진공도라고 하네요. 관련 URL참조하세요 -
답변
김쌍조님의 답변
2009-06-16- 0
>성장 온도라던지 성장시키는 박막 재료의 밀도 등 박막을 성장 시킬 때 >주로 고려해야 할 제어 변수들은 무엇이 있을지 궁금합니다. > >꽤나 많을 거 같은데, 저는 몇 가지 밖에 생각이 안나네요..ㅠㅠ 우선 전처리 => base 진공도, 작업진공도, 가스비, 파워, 회전속도 증착 => 진공도, 가스비, 파워, 회전속도, 온도, 회전속도, bias, 증착 시간등 위 변수들은 각각 독립적인것이 아니라 상호의존적이라 물질에 따른 증착 조건을 재 설정해야 좋은 결과를 얻을 것 같습니다. 참고로 위 변수는 PVD 기준입니다.