2009-06-12
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김민호(thirtyse7en)
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박막 성장에서 grain을 줄이고 단결정에 가깝게 성장하기 위해서 필요한 것은 무엇일까요?
좋은 답변 기다리고 있겠습니다.. 감사합니다.
- 박막 성장
- grain size
- 단결정
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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답변 3
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답변
정대용님의 답변
2009-06-13- 0
>박막 성장에서 grain을 줄이고 단결정에 가깝게 성장하기 위해서 필요한 것은 무엇일까요? > >좋은 답변 기다리고 있겠습니다.. 감사합니다. 단결정이 여러개 모이면 다결정이 됩니다. 우리가 흔히 원하는 단결정은 크기가 큰 단결정이지요. (Si 단결정, 사파이어 보석-알루미나 단결정에 Cr이 들어있는 것 등) 박막도 단결정이나 다결정으로 만들 수 있습니다. 그러나, 일반적으로는 다결정으로 만들어지지요. (알루미나 박막) 단결정 박막을 얇게 깍으면 단결정 박막이 되겠죠? 다결정 박막의 특성을 향상시키기 위해 단결정처럼 만드려고 노력하지요. 이것이 바로 epitaxial 박막입니다. Epi박막은 작은 크기의 단결정을 한쪽 방향으로 배열했다고 생각하시면 이해하기 쉬울 것입니다.(1차원 막대기를 한쪽으로 배열했다는 것이지요) 다결정 박막은 작은 크기의 단결정이 여러 방향으로 배열되어 있는 것이고. 일반적인 단결정은 매우 큰 크기로 단일상을 가지고 있는 것으로 생각하시면 될 듯. -
답변
유영재님의 답변
2009-06-15- 0
>박막 성장에서 grain을 줄이고 단결정에 가깝게 성장하기 위해서 필요한 것은 무엇일까요? > >좋은 답변 기다리고 있겠습니다.. 감사합니다. 관련자료 화일 첨부 드립니다. 아주 유용한 자료입니다. -
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김쌍조님의 답변
2009-06-15- 0
>박막 성장에서 grain을 줄이고 단결정에 가깝게 성장하기 위해서 필요한 것은 무엇일까요? > >좋은 답변 기다리고 있겠습니다.. 감사합니다. 앞에서 단결정과 다결정에 대한 좋은 이야기가 있는데 질문을 하시는 분께서 의도하는 바가 무엇인지 모르겠네요. 가령 성막 하는 방법은 CVD / PVD가 있으며 이 중 어떤 형태 인지...아님 초크라스키 또는 승화법인지에 대한 언급이 없습니다. 박막을 성막시키는데 현재는 다결정으로 나오고 있어 단결정화 시키려고 하는 것 같은데 1차적으로 가장 좋은 방법은 에너지 입니다. 확산 또는 증착 에너지인데 ADTOM MIGRATION을 유도하는 것입니다. 이것의 핵심은 당연히 공정 온도겠지요. 그러나, PVD는 공정 온도가 낮기 때문에 단결정으로 성장 시키기는 매우 어렵습니다.