2009-07-07
org.kosen.entty.User@46728823
김형권(hull76)
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PMMA를 e-beam litho한 이후에 다시 그 위에 PR을 코팅해서 포토리소를 하고 메탈을 올리려고 합니다.
그런데 메탈 lift-off 과정 중에 아세톤을 사용하는데, PMMA가 날아가지 않도록 하는 방법이 없을까요?
PMMA 패턴을 메탈 lift-off 이후에도 남기고 싶어서 이렇게 글을 올립니다. hard baking이라든지 화학적 처리 방법이 있으면(아세톤에서 PMMA가 날아가지 않는) 알려주시면 감사하겠습니다.
- PMMA
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답변 2
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답변
안길홍님의 답변
2009-07-07- 0
PMMA를 curing시킬려면 원칙적으로 Silane을 같이 사용합니다. 첨부 자료에서 colloidal silica도 같이 사용하는 것으로 되어 있는데 이는 표면경도를 높이기 위한 것으로 colloidal silica는 사용할 필요가 없습니다. silane제조 업체와 협의하여서 MTES를 구하여 사용하시기를, 그리고 경화온도 처리가 필요합니다. -
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이상후님의 답변
2010-01-27- 0
>PMMA를 e-beam litho한 이후에 다시 그 위에 PR을 코팅해서 포토리소를 하고 메탈을 올리려고 합니다. >그런데 메탈 lift-off 과정 중에 아세톤을 사용하는데, PMMA가 날아가지 않도록 하는 방법이 없을까요? >PMMA 패턴을 메탈 lift-off 이후에도 남기고 싶어서 이렇게 글을 올립니다. hard baking이라든지 화학적 처리 방법이 있으면(아세톤에서 PMMA가 날아가지 않는) 알려주시면 감사하겠습니다. 관련 자료 첨부합니다.
답변에 감사드립니다.