2009-07-10
org.kosen.entty.User@7cc9473d
안태영(smart3019)
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안녕하세요
Si3N4에 관해 궁금한 것이 있어서 질문을 올리게 되었습니다.
제가 궁금한 것은 Si3N4 박막의 특성에 관한 것 입니다.
Si3N4를 PECVD나 LPCVD로 올리게 되면
기판에 올라가는 Si3N4의 dense한 정도가 달라지게 되는지
즉 PECVD와 LPCVD로 올렸을때의 박막특성 차이가 궁금합니다.
좋은 하루보내시고
하시는 연구 모두 다 이루시길 바랍니다 감사합니다.
- SI3N4
- LPCVD
- PECVD
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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