2009-07-22
org.kosen.entty.User@40a01453
한진우(hanjinu)
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MEMS 구동을 관찰하기 위하여
전압을 인가하면서 동시에 SEM 관찰이 되는 장비를 부탁드립니다.
사방팔방으로 돌아다녀도 쉽게 찾아지지 않네요.
- SEM
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답변 1
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답변
한용희님의 답변
2009-07-24- 0
>MEMS 구동을 관찰하기 위하여 >전압을 인가하면서 동시에 SEM 관찰이 되는 장비를 부탁드립니다. >사방팔방으로 돌아다녀도 쉽게 찾아지지 않네요. > > MEMS 구동을 관찰한다고 했는데 MEMS 구동 구조물의(Comb actuator등등) 경우 크기가 수십마이크로미터 이상이므로 충분히 광학 현미경을 이용하여 구동을 동영상으로 촬영할 수 있으리라 생각됩니다. 예전 저의 경험을 예로들면 광스위치용 comb actuator의 구동 동영상을 광학 현미경(PC로 영상이 전송되는 광학현미경은 현재로서는 일반적임)을 이용하여 촬영하여 관찰한적이 있습니다. 나노 구조물이 아니라 MEMS 구조물이라면 충분히 가능하리라 생각됩니다. SEM 장비 자체가 고진공하에 관찰하는 장비이기 때문에 전압을 인가하며 측정하는 것은 특별하한 용도로 개조되어야 할 것 같습니다. 아마도 국내에서 ？기는 어려울 것 같군요
아 그런데, 제가 제작한 NEMS ACTUATOR의 CD 가 30nm 이어서 광학계로는 어렵네요..