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지식나눔

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HF를 중화해서 폐기하려고 하는데 구입처 좀 부탁드립니다.

2009-07-29 org.kosen.entty.User@260d2bd9 정창희(suenyador)
  • 4
50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. 이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? 중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... 탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다.
  • HF
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답변 4
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    김태관님의 답변

    2009-07-29
    • 0
    >50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. > >이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? > >중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... > >탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다. >불소는 폐수처리 방류수기준치가 나와잇습니다. 참고하세요. HF는 산이기 때문에 알칼리로 처리하시면 됩니다, 주로 Ca 계를 사용합니다. 그런데 CaO, Ca(OH)2 는 반응하면 CaF2를 형성하는데 이것은 물에 잘 용해 됩니다. 따라서 방류수에서 F이온이 검출될수있습니다. 검출되도 기준이내 농도이면 관계가 없습니다. 검출이 않되기 위해서는 아파타이트나 인산을 같이 넣고 처리합니다. Ca5(PO4)3OH + HF -> Ca5(PO4)3F + H2O 로 되고 Ca5(PO4)3F는 물에 불용성이므로 슬러리(침전)상태로 됩니다. 이렇게하면 가장 안전합니다. 참고가 되엇으면 합니다.
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    >50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. > >이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? > >중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... > >탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다. >불소는 폐수처리 방류수기준치가 나와잇습니다. 참고하세요. HF는 산이기 때문에 알칼리로 처리하시면 됩니다, 주로 Ca 계를 사용합니다. 그런데 CaO, Ca(OH)2 는 반응하면 CaF2를 형성하는데 이것은 물에 잘 용해 됩니다. 따라서 방류수에서 F이온이 검출될수있습니다. 검출되도 기준이내 농도이면 관계가 없습니다. 검출이 않되기 위해서는 아파타이트나 인산을 같이 넣고 처리합니다. Ca5(PO4)3OH + HF -> Ca5(PO4)3F + H2O 로 되고 Ca5(PO4)3F는 물에 불용성이므로 슬러리(침전)상태로 됩니다. 이렇게하면 가장 안전합니다. 참고가 되엇으면 합니다.
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    이응신님의 답변

    2009-07-30
    • 0
    반도체나 LCD에서 사용하는 HF는 49% 용액을 1%로 희석하여 사용합니다. 1% 용을 구입하여 사용해도 되나 비용 때문에 49% 용액을 희석해서 사용합니다. HF는 유독성으로 분류되어 관리가 철저하기 때문에 그냥 버릴 수 없는 것으로 알고 있습니다. 유리가루를 녹여서 세척제로 사용하는데 몇 년 전에 모처의 반도체 공장에서 흘러나와 (기체 상태인 듯) 주변 아파트의 창문과 자동차유리가 녹아 가만히 교체해 준 적이 있을 정도로 위험합니다. 그래서 HF가 유출되었다고 하면 극비리에 처리반이 달려와서 용액이 흐른 주위 땅 1 m^3를 파가서 특수처리를 합니다. 그런데... 그냥 흘려보낼 수 있다는 것은 이해가 되지 않습니다. HF같은 용액은 판매와 유통, 회수까지 철저히 감시를 하고 있고 안전공단 등에서 허가를 해야 처리를 할 수 있는 것으로 알고 있습니다. 소규모 반도체 업체에서는 그냥 처리해도 되는 듯 한데... 글쎄요? 처리방법을 좀 더 알아보시고 안전하게 처리해야 할 듯 합니다. 일설에 의하면... 피부에는 손상이 가지 않으나 HF 용액을 만졌을 때 피부로 침투해서 뼈를 녹여 피부는 멀쩡한데 뼈가 없이 손가락이 흔들거린다는 소문도 나돌 정도로 사람들이 꺼리는 용액입니다. 반도체 설비업체 담당자와 직접 나눈 이야기니까 어느 정도 사실에 기반을 둔 이야기인듯 합니다. >50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. > >이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? > >중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... > >탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다. > >
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    반도체나 LCD에서 사용하는 HF는 49% 용액을 1%로 희석하여 사용합니다. 1% 용을 구입하여 사용해도 되나 비용 때문에 49% 용액을 희석해서 사용합니다. HF는 유독성으로 분류되어 관리가 철저하기 때문에 그냥 버릴 수 없는 것으로 알고 있습니다. 유리가루를 녹여서 세척제로 사용하는데 몇 년 전에 모처의 반도체 공장에서 흘러나와 (기체 상태인 듯) 주변 아파트의 창문과 자동차유리가 녹아 가만히 교체해 준 적이 있을 정도로 위험합니다. 그래서 HF가 유출되었다고 하면 극비리에 처리반이 달려와서 용액이 흐른 주위 땅 1 m^3를 파가서 특수처리를 합니다. 그런데... 그냥 흘려보낼 수 있다는 것은 이해가 되지 않습니다. HF같은 용액은 판매와 유통, 회수까지 철저히 감시를 하고 있고 안전공단 등에서 허가를 해야 처리를 할 수 있는 것으로 알고 있습니다. 소규모 반도체 업체에서는 그냥 처리해도 되는 듯 한데... 글쎄요? 처리방법을 좀 더 알아보시고 안전하게 처리해야 할 듯 합니다. 일설에 의하면... 피부에는 손상이 가지 않으나 HF 용액을 만졌을 때 피부로 침투해서 뼈를 녹여 피부는 멀쩡한데 뼈가 없이 손가락이 흔들거린다는 소문도 나돌 정도로 사람들이 꺼리는 용액입니다. 반도체 설비업체 담당자와 직접 나눈 이야기니까 어느 정도 사실에 기반을 둔 이야기인듯 합니다. >50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. > >이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? > >중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... > >탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다. > >
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    안길홍님의 답변

    2009-07-30
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    불산 증기가 대기중으로 유출되면 심각한 오염을 초래합니다. 피부에 화상성 침투가 일어나기도 하며, 특히 호흡기에 심각한 손상을 초래합니다. 아울러 불산 증기에 견딜 수 있는 우리 주위의 물질은 거의 없다고 할 수 있습니다. 그러나 불산 증기는 물과 만나면 즉시 불산 용액으로 변화하게 되는 특성을 가지고 있습니다(이러한 이유로 불산 증기가 인체에 흡수되면 몸속의 수분과 반응하여 불산용액으로 변화하게 되므로 대단히 높은 유독성 물질입니다.) 그러나 우리나라의 현실상 불산 폐수를 ppb단위로 처리한다는 것은 거의 불가능합니다. 따라서 수질환경보전법에 불산폐수에 대하여 규정하고 있는데,ppm단위로 규제하고 있습니다.첨부 자료와 같이 청정지역 3ppm이하, 기타 15ppm이하로 규제하고 있습니다. 통상 Ca[CaO 또는 Ca(OH)2]으로 처리하고 있는데 이는 자재의 가격문제로 이를 사용하고 있습니다.따라서 불산이 배출수 내에 소량 포함되는 것은 어쩔 수 없는 현실입니다. 좋은 것은 인산칼슘을 사용하는 것인데 이는 위의 자재에 비하여 5배 정도로 가격이 높습니다. 따라서 국내 폐수처리장에서는 배출수 허용기준에 맞추면서 가격이 낮은 CaO 또는 Ca(OH)2를 사용하고 있습니다.
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    불산 증기가 대기중으로 유출되면 심각한 오염을 초래합니다. 피부에 화상성 침투가 일어나기도 하며, 특히 호흡기에 심각한 손상을 초래합니다. 아울러 불산 증기에 견딜 수 있는 우리 주위의 물질은 거의 없다고 할 수 있습니다. 그러나 불산 증기는 물과 만나면 즉시 불산 용액으로 변화하게 되는 특성을 가지고 있습니다(이러한 이유로 불산 증기가 인체에 흡수되면 몸속의 수분과 반응하여 불산용액으로 변화하게 되므로 대단히 높은 유독성 물질입니다.) 그러나 우리나라의 현실상 불산 폐수를 ppb단위로 처리한다는 것은 거의 불가능합니다. 따라서 수질환경보전법에 불산폐수에 대하여 규정하고 있는데,ppm단위로 규제하고 있습니다.첨부 자료와 같이 청정지역 3ppm이하, 기타 15ppm이하로 규제하고 있습니다. 통상 Ca[CaO 또는 Ca(OH)2]으로 처리하고 있는데 이는 자재의 가격문제로 이를 사용하고 있습니다.따라서 불산이 배출수 내에 소량 포함되는 것은 어쩔 수 없는 현실입니다. 좋은 것은 인산칼슘을 사용하는 것인데 이는 위의 자재에 비하여 5배 정도로 가격이 높습니다. 따라서 국내 폐수처리장에서는 배출수 허용기준에 맞추면서 가격이 낮은 CaO 또는 Ca(OH)2를 사용하고 있습니다.
    오동현(dream91) 2009-07-30

    전에 불산 사용을 검토하다가 안하기로 한적이 있었는데. 이렇게 엄격하게 관리해야 할줄은 몰랐네요. 그때 사용했으면 적당히 희석해서 산 폐기용액 통에 버렸을텐데, 지금이라도 알아서 다행입니다. 앞으로 쓰게 되면 좋은 참고가 되겠습니다.^^

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    이상후님의 답변

    2010-01-26
    • 0
    >50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. > >이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? > >중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... > >탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다. > > 당연히 중화반응후에 폐기처리 해야됩니다. 왜냐하면 HF는 독극물로 분류되기 때문이죠. 보통 HF를 중화할때 사용하는 시약은 25% NaOH입니다. 반응식은 다음과 같습니다. HF + NaOH→NaF + H2O
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    >50% HF 수용액을 한두방울 물에 희석시켜 웨이퍼 세척에 사용합니다. > >이 폐수를 중화처리없이 그냥 더 희석시켜 버려도 상관없나요? > >중화처리가 꼭 필요하다면 어느정도까지 해야하는지... > >탄산칼륨으로 해도 되는건지 아니면 다른 물질 구입처 좀 부탁드립니다. > > 당연히 중화반응후에 폐기처리 해야됩니다. 왜냐하면 HF는 독극물로 분류되기 때문이죠. 보통 HF를 중화할때 사용하는 시약은 25% NaOH입니다. 반응식은 다음과 같습니다. HF + NaOH→NaF + H2O
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