2009-08-03
org.kosen.entty.User@3149335
이명수(myongsoo2)
- 3
안녕하세요
ZrO2 안에 Ce을 도핑을 하였는데요
박막의 두께는 약 5nm정도 이구요
Zr과 Ce의 percentage를 알고 싶은데요
ICP-MS처럼 박막을 녹이지 않고
박막 그상태로 정량 분석이 가능한 분석 방법이 뭐가 있을까요??
정말 고민입니다.. 알려 주세요
아참.. XPS 로는 percentage가 잘 안나와서 XPS 말고 다른 장비를 찾으려 합니다..
- ZrO2
- 정량분석
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답변 3
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답변
박장식님의 답변
2009-08-04- 0
>안녕하세요 >ZrO2 안에 Ce을 도핑을 하였는데요 >박막의 두께는 약 5nm정도 이구요 >Zr과 Ce의 percentage를 알고 싶은데요 >ICP-MS처럼 박막을 녹이지 않고 >박막 그상태로 정량 분석이 가능한 분석 방법이 뭐가 있을까요?? >정말 고민입니다.. 알려 주세요 >아참.. XPS 로는 percentage가 잘 안나와서 XPS 말고 다른 장비를 찾으려 합니다.. 수고하십니다. 일반적으로 XPS 로 정확하게 측정할 수 있는데, 장비의 관리가 잘 되어 있어야 한다고 생각합니다. 다른 방법으로는 EDAX(energy dispersive X-ray spectroscopy)는 전자를 재료에 충돌시켜 발생되는 X-ray 로 성분과 성분의 량을 정량적으로 분석가능하며 AES(auger electron spectroscopy)으로 성분 및 성분량을 분석가능합니다. -
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윤영수님의 답변
2009-08-04- 0
>안녕하세요 >ZrO2 안에 Ce을 도핑을 하였는데요 >박막의 두께는 약 5nm정도 이구요 >Zr과 Ce의 percentage를 알고 싶은데요 >ICP-MS처럼 박막을 녹이지 않고 >박막 그상태로 정량 분석이 가능한 분석 방법이 뭐가 있을까요?? >정말 고민입니다.. 알려 주세요 >아참.. XPS 로는 percentage가 잘 안나와서 XPS 말고 다른 장비를 찾으려 합니다.. 가장 좋은 방법의 하나는 RBS라는 것이 있습니다. 이 방법은 비파괴이면서 매우 정확하게 조성을 분석할 수 있습니다. EDS나 WDS 등은 참고 시료가 있어야되는 반면 (또 어느 정도의 양이 존재해야함, 통상 3%) RBS는 시료 자체로도 조성 분석이 가능합니다. 다만 그것이 Element로 존재하는지 또는 Compound로 존재하는지는 알기가 다소 어렵다는 단점이 있습니다. 그렇지만 5nm 정도의 두께에서 조성을 알 수 있는 가장 좋은 방법의 하나입니다. -
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김지훈님의 답변
2009-08-07- 0
>안녕하세요 >ZrO2 안에 Ce을 도핑을 하였는데요 >박막의 두께는 약 5nm정도 이구요 >Zr과 Ce의 percentage를 알고 싶은데요 >ICP-MS처럼 박막을 녹이지 않고 >박막 그상태로 정량 분석이 가능한 분석 방법이 뭐가 있을까요?? >정말 고민입니다.. 알려 주세요 >아참.. XPS 로는 percentage가 잘 안나와서 XPS 말고 다른 장비를 찾으려 합니다.. XPS는 기본적으로 원소간의 bonding을 측정하는 것이기 때문에 조성비를 구할때는 괜찬은데 위 경우는 좀 어려울것으로 보입니다. AES, SIMS도 가능 합니다만..arbitraru unit으로 나오기 때문에 기준점에 대한 근거 설정 및 계산하기가 쉽지 않구요..data가 좀 많이 있으면 신뢰성을 얻게 됩니다. EDS는 경원소 잘 안되나 위 경우는 상관없다고 생각됩니다만 정량분석 역시 상대비교구요.. EELS분석법이 있습니다. 언급된것들 중에는 신뢰성이 있다고 알고 있으니 이건 제가 해보질 않아서 뭐라고 말씀을 못드리겠네요.. 아랫분이 언급하셨던 RBS(=ESCA라고도 합니다.)이것도 괜찬은 방법으로 알고 있습니다.(제가 직접 해보진 않았습니다.) PPM단위의 정밀도가 요구되는 분석이면 ICP에 맞는 시료를 박막과 동조건으로 제작하여 분석해야하는게 괜찬을듣 싶습니다. XRF나 FTIR로 At%,Wt%단위로 분석하는 방법이 있으니 이 또한 상대비교 시편이나 기준시편이 있어야 합니다.(기준시편은 대부분 분석기기를 가지고 있는곳에서 가지고 있습니다.) XRD로도 가능 합니다만 이것고 A.U.이고.. 분석 하나만으로 끝내는것이 좋으나 경험한 바로는 그렇게 되기가 쉽지 않습니다. 기초적인 분석부터 참고 data를 만들어 신뢰성있는 micro분석으로 가심이 어떨지요..
감사 합니다^^