2009-08-10
org.kosen.entty.User@42d885f8
신승협(rainy123)
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Ta 에다가 Photoresist(PR) 를 coat 하여 patternig 을 하고 싶습니다.
그런데 PR 이 Ta etching solution 에 모두 etching 이 되어 버립니다.
그래서 흔히 Metal Hard Mask 재질로 쓰인다는 Au Mask 를 쓰려 하는데
etchant 나 이런 공정으로 진행되어진 논문 혹은 실험법을 알고자 합니다
도움을 절실히 부탁드립니다.
감사합니다.
- etching
- hard mask
- metal
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각 분야 한인연구자와 현업 전문가분들의 답변을 기다립니다.
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