2009-09-02
org.kosen.entty.User@67aeb71a
정유수(kaienf)
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반도체 공정에서
Lift off 공정의 장점을 알려주세요
그리고 주로 적용되는 공정은 어떤곳인가요?
- lift off
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답변 1
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답변
김기범님의 답변
2009-09-02- 0
>반도체 공정에서 >Lift off 공정의 장점을 알려주세요 >그리고 주로 적용되는 공정은 어떤곳인가요? Lift off공정은 선폭 수십 나노의 -2000년대의-반도체 공정에는 적용되기 어려운 프로세스라 생각됩니다. MEMS나 unconventional process에서는 유용하게 사용되지만요. 장점은, lift off에서는 하지(下地, under lying)의 PR층이 희생층으로 작용해 기판으로 부터 박리되므로 패터닝하고자 하는 그 물질을 녹이는 식각액(etchant)이 없는 경우에도 패터닝이 가능합니다.