2009-10-06
org.kosen.entty.User@4cf1c071
최규석(seed77)
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공정중에 발생한 화합물입니다.
화합물의 특성은 휘발성이 강하고 액체상태로 되어있으며, 아마 실리콘에 phosphorus가 달려있을거고 양은 ppb 수준 입니다.(GC/MS로 잘 안나오는것 같습니다.)
이러한 화합물을 분석하여 무엇인지 알아볼 수 있는 장비가 있으면 소개 부탁드립니다.
이러한 화합물을 분석할 수 있는 곳도 알려주세요.
- phosphorus
- silicon
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답변 4
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답변
이상후님의 답변
2009-10-06- 2
>공정중에 발생한 화합물입니다. >화합물의 특성은 휘발성이 강하고 액체상태로 되어있으며, 아마 실리콘에 phosphorus가 달려있을거고 양은 ppb 수준 입니다.(GC/MS로 잘 안나오는것 같습니다.) > 이러한 화합물을 분석하여 무엇인지 알아볼 수 있는 장비가 있으면 소개 부탁드립니다. >이러한 화합물을 분석할 수 있는 곳도 알려주세요. ppb수준일 경우, inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS)나 ICP-Atomic Emission Spectrometer로 분석이 가능합니다. 기존 mass spectrometry와 마찬가지로 calibration curve를 얻은 후에 시료의 전처리후에 정량 분석이 가능할 것으로 생각됩니다. 사용 가능한 대표적인 사이트 - kiki.snu.ac.kr 또는 www.kbsi.re.kr 그 외 각 지역 공동장비 운영 사이트를 참고해 보세요. -
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안상범님의 답변
2009-10-15- 2
>공정중에 발생한 화합물입니다. >화합물의 특성은 휘발성이 강하고 액체상태로 되어있으며, 아마 실리콘에 phosphorus가 달려있을거고 양은 ppb 수준 입니다.(GC/MS로 잘 안나오는것 같습니다.) > 이러한 화합물을 분석하여 무엇인지 알아볼 수 있는 장비가 있으면 소개 부탁드립니다. >이러한 화합물을 분석할 수 있는 곳도 알려주세요. 예전의 저의 경우에는 공정중 발생한 화합물을 Py-GC/MS (열분해 가스크로마토 그래피 질량분석기)를 사용해서 원인물질을 찾곤 했습니다. http://www.jaikorea.co.kr에 문의하시길 바랍니다. -
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박준건님의 답변
2009-10-07- 0
>공정중에 발생한 화합물입니다. >화합물의 특성은 휘발성이 강하고 액체상태로 되어있으며, 아마 실리콘에 phosphorus가 달려있을거고 양은 ppb 수준 입니다.(GC/MS로 잘 안나오는것 같습니다.) > 이러한 화합물을 분석하여 무엇인지 알아볼 수 있는 장비가 있으면 소개 부탁드립니다. >이러한 화합물을 분석할 수 있는 곳도 알려주세요. 무기인의 형태라면 분광광도법으로도 간단히 비색 정량이 가능하지 않을까 생각해 봅니다. 흔히 환경 시료 중에는 아스코르빈산 환원법을 사용하나 공정중 발생되는 물질에 대해서는 적용해 보지 않았습니다.
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안길홍님의 답변
2010-02-01- 0
>공정중에 발생한 화합물입니다. >화합물의 특성은 휘발성이 강하고 액체상태로 되어있으며, 아마 실리콘에 phosphorus가 달려있을거고 양은 ppb 수준 입니다.(GC/MS로 잘 안나오는것 같습니다.) > 이러한 화합물을 분석하여 무엇인지 알아볼 수 있는 장비가 있으면 소개 부탁드립니다. >이러한 화합물을 분석할 수 있는 곳도 알려주세요. 기초과학연구소에서 가능합니다. 첨부자료 참고
ICP를 전처리 없이 할 수 있나요?? 저거 b.p가 30도 정도인데요..